IKM per unsur adalah penilaian tingkat kepuasan masyarakat terhadap satu komponen atau aspek tertentu dari suatu pelayanan publik, yang kemudian akan diakumulasikan untuk mendapatkan nilai IKM keseluruhan. Setiap unsur pelayanan, seperti kemudahan persyaratan, waktu, biaya, atau produk, akan diukur tingkat kepuasannya melalui survei, sehingga menghasilkan gambaran yang lebih rinci mengenai kinerja pelayanan dan area yang perlu ditingkatkan.